真空直插式微氧分析儀
適用於真空或負壓設備。東麗工程直插式微氧分析儀的 SD 感測器（氧化鋯 sensor）以 ISO 真空法蘭直接裝在腔體或配管上（LD-450、LD-600 另可選 R3/8 牙口），不需取樣系統，適用樣氣壓力 10-3 Pa ～ 200 kPa（絕對壓力）。LD-450 有 LED 顯示，輸出 4–20 mA 或 RS-232C；LD-600 以 EtherCAT 設定與輸出；MS-500／MS-510 一台控制器最多同時量測 8 點。大氣壓設備請見泵浦抽吸式微氧分析儀，或回到TORAY 氧氣分析儀比較全部機型。
MS-500／MS-510 多點氧化鋯微氧分析儀（最多 8 點）
東麗工程（TORAY ENGINEERING）MS-500／MS-510／SD 感測器是多點式氧化鋯式微氧分析儀：一台 MS-500 控制器最多連接 8 組量測單元（MS-510 轉換器＋SD 感測器），同時量測多個腔體或配管的氧濃度，低成本、省空間，適合內建於量產設備。
LD-600 EtherCAT 分離式氧化鋯微氧分析儀
東麗工程（TORAY ENGINEERING）LD-600/SD 感測器是搭載 EtherCAT 通訊的分離式氧化鋯式微氧分析儀。SD 感測器直接裝在真空腔體或配管上，不需取樣系統；設定操作與量測輸出都透過 EtherCAT，適合整合進各種處理設備。
LD-450 分離式氧化鋯微氧分析儀
東麗工程（TORAY ENGINEERING）LD-450/SD 感測器是分離式氧化鋯式微氧分析儀：SD 感測器直接裝在腔體或配管上，可依安裝條件採自然擴散量測，在真空環境也能使用；轉換器採薄型壁掛設計，適合內建於真空設備、燒成爐等各種處理設備。