MS-500／MS-510 多點氧化鋯微氧分析儀（最多 8 點）
MS-500 是什麼？
MS-500 系統由 MS-500 控制器、MS-510 轉換器與 SD 感測器組成。每個量測點需要一組轉換器與感測器，一台控制器最多接 8 點，原廠以半導體製造設備等多種用途為目標。
- 最多 8 點同時量測：一台控制器最多連接 8 組量測單元。
- 低成本、省空間：適合搭載、內建於量產設備。
- 真空環境可用：直插式感測器不需取樣系統，在真空環境下也能量測。
- 超高速響應：分離式感測器直接量測，縮短響應時間。
- 高耐久感測器：感測器經特殊塗層處理。
- 符合標準：CE（EN61010-1、EN61326-1）、符合 UL61010-1、RoHS；原廠註明未取得 NRTL 與 CSA 認證。
量測原理
氧化鋯陶瓷在高溫下只允許氧離子通過。感測器一側通入參考氣體（大氣），另一側通入樣氣，兩側的氧濃度差會使氧離子移動並產生電動勢，依能斯特（Nernst）方程式即可換算出氧濃度。
系統架構與連接
- 量測單元：MS-510 轉換器＋SD 感測器（SD16NW／SD25NW／SD40NW），每個量測點一組
- SD 感測器以 ISO 真空法蘭接到腔體或配管
- 轉換器與感測器以專用線連接，標準 2 m、最長 10 m
- 控制器對客戶設備：RS-232C 單向傳輸（9,600／19,200／38,400 bps）；需要 LAN 等其他連接方式請洽詢
- 控制器維護用電腦介面：USB（Mini-B）
- 電源：DC24V；控制器 0.3 A、每組轉換器 2 A
樣氣條件與使用限制
- 樣氣不可含可燃性成分、鹵素、矽、腐蝕性成分或水滴
- 高濃度氦氣等比熱較高的樣氣可能無法使用
- 樣氣溫度：100 °C 以下
- 樣氣壓力：10-3 Pa ～ 200 kPa（絕對壓力）
- 樣氣流量：0 ～ 5 L/min（0 L/min 為自然擴散量測）
- 露點須低於周圍溫度
- 安裝於室內、非防爆區域
感測器在運作時是加熱狀態，請注意燙傷；感測器也可能因振動或撞擊而損壞。
東麗工程氧化鋯式氧氣分析儀選型比較
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| 型號 | 取樣方式 | 量測／顯示範圍 | 電源 | 輸出 |
|---|---|---|---|---|
| LD-450 | 真空直插式 | 0.001 ppm ～ 100 vol% | DC24V | 4–20 mA（-T）或 RS-232C（-C）；LED 顯示 |
| LD-600 | 真空直插式 | 0.001 ppm ～ 100 vol% | DC24V | EtherCAT；無顯示，僅通訊輸出 |
| MS-500／MS-510（本頁） | 真空直插式，最多 8 點 | 顯示 0.001 ppm ～ 100% | DC24V | RS-232C（單向）；控制器 4 位數顯示 |
| LC-450A | 泵浦抽吸式 | 0.1 ppm ～ 100 vol% | AC100–240V | 4–20／0–20 mA、RS-232C |
| LC-450D | 泵浦抽吸式 | 0.1 ppm ～ 100 vol% | DC24V | 0–10 V（4–20 mA 選購）、RS-232C |
| LC-860 | 泵浦抽吸式 | 0.1 ppm ～ 100 vol% | AC100–120V | 0–10 V 或 4–20 mA、RS-232C |
| RF-400-01 | 泵浦抽吸式，氮氣迴焊爐用 | 上限 100 vol%；下限依版本確認 | AC100–240V | 4–20 mA、RS-232C |
量測／顯示範圍不等於保證精度的範圍，各型號的保證範圍請見規格表。實際選型需依樣氣成分、濃度、壓力、安裝方式與輸出需求確認。
查看全部 TORAY 氧化鋯氧氣分析儀，依設備條件比較選型。
詢價前需確認的條件
- 需要同時量測的點數（最多 8 點）與各點位置
- 各點的製程氣體組成、預期氧濃度範圍與壓力
- 感測器的真空法蘭規格（NW16／25／40）
- 設備端通訊需求（RS-232C 或其他）
- 需求數量
歡迎與我們聯絡，我們會依現場條件建議合適的型號與配置。
MS-500／MS-510 技術規格
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| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 品牌／型號 | 東麗工程 TORAY ENGINEERING／控制器 MS-500、轉換器 MS-510、感測器 SD16NW／SD25NW／SD40NW |
| 量測點數 | 最多 8 點（每個量測點需一組轉換器與感測器） |
| 量測方式 | 氧化鋯氧濃差電池式 |
| 參考氣體 | 大氣（以 H2O 1.62 vol% 為基準，約 20 °C、70% RH） |
| 顯示範圍 | 0.001 ppm ～ 100% |
| 控制器顯示 | 自動換檔，數位 4 位數（濃度）；0–1／10／100／1000 ppm／1／10／100% |
| 控制器通訊 | RS-232C 單向；9,600／19,200／38,400 bps；LAN 等連接請洽詢 |
| 控制器外部連接 | 電源：2 片式免螺絲端子台；維護用電腦：USB Mini-B |
| 控制器尺寸／重量 | 92（W）× 44（H）× 120（D）mm；約 0.6 kg；M3 螺絲盤面安裝 |
| 控制器電源 | DC24V ±10%、0.3 A |
| 轉換器尺寸／重量 | 100（W）× 40（H）× 88（D）mm；約 0.5 kg；M3 螺絲平面固定 |
| 感測器 | 全長 100 mm；約 0.3 kg；ISO 真空法蘭接續 |
| 轉換器～感測器 | 專用線連接，標準 2 m，最長 10 m |
| 轉換器電源 | DC24V ±10%、2 A（最大 60VA，穩態 15VA 以下） |
| 重複性 | 0–1% 以上範圍：±0.5%FS 以下；未滿 0–1% 範圍：±1.0%FS 或 ±0.1 ppm 取大者 |
| 空氣點穩定性 | ±1.0%FS 以下／24 小時 |
| 暖機時間 | 開始加熱後 6 分鐘以內 |
| 安裝環境 | 室內、非防爆區域；周圍溫度：控制器／轉換器 0 ～ 40 °C、感測器 0 ～ 50 °C；周圍濕度 35 ～ 80% RH（無結露）；安裝部位溫度：控制器／轉換器 0 ～ 40 °C、感測器 0 ～ 100 °C |
| 符合標準 | CE（EN61010-1、EN61326-1）、符合 UL61010-1、RoHS；未取得 NRTL 與 CSA 認證 |
樣氣條件
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| 項目 | 條件 |
|---|---|
| 成分 | 不可含可燃性成分、鹵素、矽、腐蝕性成分或水滴；高濃度氦氣等比熱較高的樣氣可能無法使用 |
| 溫度 | 100 °C 以下 |
| 壓力 | 10-3 Pa ～ 200 kPa（絕對壓力） |
| 流量 | 0 ～ 5 L/min（0 L/min 為自然擴散量測） |
| 濕度 | 露點低於周圍溫度 |