TORAY 氧氣分析儀｜微氧分析儀
東麗工程（TORAY ENGINEERING）氧化鋯式微氧分析儀（氧氣分析儀），以自有的氧化鋯 sensor（感測器）量測 ppm 級微量氧到 100% 的氧濃度，用於監測半導體、電子零件、面板與二次電池等製程設備內的氣氛氧濃度。依設備壓力、量測點數與樣氣條件，可選真空直插式、多點式、泵浦抽吸式或氮氣迴焊爐用機型。
依設備條件選型
- 真空或負壓設備：LD-450（LED 顯示，4–20 mA 或 RS-232C）或 LD-600（EtherCAT 通訊），SD 感測器直接裝在腔體或配管上，不需取樣系統。
- 多個腔體同時量測：MS-500／MS-510，一台控制器最多接 8 組直插式感測器。
- 大氣壓～微正壓、潔淨樣氣：LC-450A（AC100–240V，LC-300 後繼機種）、LC-450D（DC24V，方便內建於設備）或 LC-860（AC100–120V，6 位數顯示、泵浦遠端啟停）。
- 氮氣迴焊爐：RF-400-01，配置微粒與特殊過濾器，降低助焊劑、油分等污染物對感測器的影響。
TORAY 氧氣分析儀規格比較
左右滑動可查看完整表格
| 型號 | 型式 | 量測／顯示範圍 | 樣氣供給 | 電源 | 輸出 |
|---|---|---|---|---|---|
| LD-450 | 分離式：感測器直插、轉換器壁掛 | 0.001 ppm ～ 100 vol% | 直插，10-3 Pa ～ 200 kPa（絕對壓力） | DC24V | 4–20 mA（-T）或 RS-232C（-C） |
| LD-600 | 分離式：感測器直插、轉換器桌上或壁掛 | 0.001 ppm ～ 100 vol% | 直插，10-3 Pa ～ 200 kPa（絕對壓力） | DC24V | EtherCAT（無顯示） |
| MS-500／MS-510 | 多點式：1 台控制器接最多 8 組直插感測器 | 顯示 0.001 ppm ～ 100% | 直插，10-3 Pa ～ 200 kPa（絕對壓力） | DC24V | RS-232C（單向） |
| LC-450A | 桌上型／盤面安裝 | 0.1 ppm ～ 100 vol% | 內建泵浦抽吸，加壓不超過 29.4 kPa | AC100–240V | 4–20／0–20 mA、RS-232C |
| LC-450D | 桌上型／盤面安裝 | 0.1 ppm ～ 100 vol% | 內建泵浦抽吸，加壓 29 kPa 以下 | DC24V | 0–10 V（4–20 mA 選購）、RS-232C |
| LC-860 | 桌上型／盤面安裝 | 0.1 ppm ～ 100 vol% | 內建泵浦抽吸，加壓不超過 29.4 kPa | AC100–120V | 0–10 V 或 4–20 mA、RS-232C |
| RF-400-01 | 桌上型／盤面安裝，氮氣迴焊爐用 | 上限 100 vol%；下限依版本確認 | 內建泵浦抽吸，加壓不超過 29.4 kPa | AC100–240V | 4–20 mA、RS-232C |
量測／顯示範圍不等於原廠保證精度的範圍，各型號的保證範圍請見產品頁規格表；各型號的產品頁都可下載中文型錄。
LC-450D DC24V 氧化鋯微氧分析儀
東麗工程（TORAY ENGINEERING）LC-450D 是 DC24V 驅動的氧化鋯式微氧分析儀，一台即可量測低濃度到 100% 的氧氣，機身精巧、內建泵浦連續抽吸，方便內建於半導體、液晶等各種設備；AC 電源規格請見 LC-450A。
MS-500／MS-510 多點氧化鋯微氧分析儀（最多 8 點）
東麗工程（TORAY ENGINEERING）MS-500／MS-510／SD 感測器是多點式氧化鋯式微氧分析儀：一台 MS-500 控制器最多連接 8 組量測單元（MS-510 轉換器＋SD 感測器），同時量測多個腔體或配管的氧濃度，低成本、省空間，適合內建於量產設備。
LD-600 EtherCAT 分離式氧化鋯微氧分析儀
東麗工程（TORAY ENGINEERING）LD-600/SD 感測器是搭載 EtherCAT 通訊的分離式氧化鋯式微氧分析儀。SD 感測器直接裝在真空腔體或配管上，不需取樣系統；設定操作與量測輸出都透過 EtherCAT，適合整合進各種處理設備。
RF-400-01 氮氣迴焊爐用氧化鋯微氧分析儀
東麗工程（TORAY ENGINEERING）RF-400-01 是專為氮氣迴焊爐開發的氧化鋯式微氧分析儀，配置微粒與特殊過濾器，降低助焊劑、油分等樣氣污染物對感測器的影響，體積精巧，適合內建於迴焊爐等各種設備。
LC-860 氧化鋯式微氧分析儀
東麗工程（TORAY ENGINEERING）LC-860 是桌上型／盤面安裝的氧化鋯式微氧分析儀，以電子產業的氧濃度控制與監測為目標，內建泵浦連續抽吸、可自動切換範圍，從 ppm 級微量氧量測到 100%。
LD-450 分離式氧化鋯微氧分析儀
東麗工程（TORAY ENGINEERING）LD-450/SD 感測器是分離式氧化鋯式微氧分析儀：SD 感測器直接裝在腔體或配管上，可依安裝條件採自然擴散量測，在真空環境也能使用；轉換器採薄型壁掛設計，適合內建於真空設備、燒成爐等各種處理設備。
LC-450A 氧化鋯式微氧分析儀
東麗工程（TORAY ENGINEERING）LC-450A 是體積精巧的氧化鋯式微氧分析儀，一台即可量測低濃度到 100% 的氧氣，氧氣感測器經特殊處理提升耐久性，適合安裝在半導體、液晶等各種設備中；也是原廠列示的 LC-300 後繼機種。
如何選型
- 1. 量測範圍：先確認製程需要的氧濃度範圍，例如 10 ppm 以下、10 ppm 以上，或 0.1%（1000 ppm）以上。
- 2. 樣氣供給方式（依設備內壓力）：真空或負壓設備選感測器直插式（LD-450、LD-600、MS-500）；大氣壓～微正壓設備選泵浦抽吸式（LC-450A、LC-450D、LC-860、RF-400-01），樣氣加壓壓力約 29 kPa 以下；壓力更高的設備須先減壓，請與我們確認配置。
- 3. 量測點數：同一台設備要監測多個腔體或配管時，可選 MS-500（最多 8 點）。
- 4. 電源：AC100V 系統可選 LC-860；AC100–240V 寬電源可選 LC-450A、RF-400-01；設備內建 DC24V 可選 LD-450、LD-600、MS-500、LC-450D。
- 5. 輸出：接記錄器或 PLC 多用類比輸出（4–20 mA 或 0–10 V）；接電腦或資料記錄器可用 RS-232C；設備控制採用 EtherCAT 時可選 LD-600。
- 6. 樣氣成分：泵浦抽吸式機型的樣氣不可含可燃性、腐蝕性、鹵素、矽成分或水滴；直插式 LD-450、LD-600 不可用於還原性氣氛，樣氣不可含可燃性、鹵素、矽或腐蝕性成分（LD-600 另不可含氦氣，MS-500 遇高濃度氦氣等比熱較高的樣氣可能無法使用）。不符合時請先與我們討論前處理。
氧化鋯 sensor 怎麼量氧？
氧化鋯陶瓷在高溫下只允許氧離子通過。sensor 一側是參考氣體（大氣），另一側是樣氣，兩側氧濃度差會使氧離子移動並產生電動勢，依能斯特（Nernst）方程式換算氧濃度；樣氣氧濃度越低，電動勢越大，因此適合量測 ppm 級的微量氧。
原廠列出的半導體與電子製程應用
東麗工程原廠在半導體與電子零件產業列出的應用如下（產業層級，個別型號的適用性請依壓力與樣氣條件確認）：
- CVD 設備、PVD 設備、濺鍍設備
- 擴散爐、退火設備、各種燒成爐
- 晶圓搬送設備
- 迴焊爐、封裝模壓（Molding）設備
- 石英元件製造設備、電容燒成爐
- 氮氣產生裝置
原廠另列出面板製程（CVD、FCCL、OLED、LCD 雷射剝離、玻璃熱處理、薄膜乾燥爐、無塵烘箱）與二次電池電極燒成等應用。
人員缺氧防護
本分類提供製程設備內的氧濃度分析產品。人員缺氧防護需求，請參閱工安氣體偵測器，並依使用場所選型。