ETC-1700 線上近紅外光譜儀｜LPA夾管式液體濃度計

ETC-1700 Process Analyzer 線上近紅外光譜儀 (LPA 夾管式液體濃度計)

在半導體與面板廠的 Array 製程及濕式蝕刻設備中，即時且精準地掌握清洗液與蝕刻液的濃度，是維持良率的關鍵 [cite: 2434]。ETC-1700 專為測量草酸、鋁酸及 AFN 混酸（如 HF、HNO3、CH3COOH、H3PO4 等）而生，提供業界最安全、高效的線上濃度分析解決方案。

取代傳統化學滴定的最佳利器：
傳統的化學滴定法不僅耗時（約 15-30 分鐘），需要消耗大量化學試劑，更伴隨著潛在的化學外洩與工安環境危害風險 [cite: 2420]。ETC-1700 運用近紅外光譜 (NIR) 技術，帶來以下革命性突破：

• 獨創 LPA 夾管式安裝 (Clip-on)： 儀器體積小、重量輕（小於 500g），探頭可直接卡接在 1/4" 至 1" 的 PFA 管路上 [cite: 2428, 2429, 2436, 2464]。不需破壞管線，更不會接觸到高腐蝕性液體，徹底根絕洩漏風險 [cite: 2464]。
• 免耗材與零前處理： 採用非光纖解決方案，光徑設計十分簡潔 [cite: 2430, 2453]。測量過程不破壞樣品、不需任何化學試劑，實現真正的無消耗品與免停機維護 [cite: 2420]。
• 極速多成分同步分析： 光譜測量時間極快（典型值 0.25-0.5 秒），能在不到 1 分鐘內同步精準測量出溶液中的多種化學成分含量 [cite: 2420, 2436]。實際 AFN 溶液測試中，HF 監測誤差僅 -0.06%，HNO3 誤差僅 -0.014%，即時反應製程變化 [cite: 2689, 2690]。
• 卓越的抗震與穩定性： 核心採用線性漸變分光器 (LVF)，光徑全固態，沒有任何移動部件，抗震性極好，波長偏移非常低 [cite: 2436, 2461]。同時具備溫度補償功能，保證液體在不同溫度下檢測結果的準確性 [cite: 2427]。

專屬 On-Line NIR Analysis System V3.0 監測軟體
系統搭載增誠科技專屬的 V3.0 濃度分析監測軟體，專為線上生產過程打造，只需數秒即可完成一次檢測 [cite: 2046, 2062]：
• 全自動無人值守： 軟體支援全自動啟動模式，儀器無須暖機，通電即自動工作，連續監測並發送資料 (約 2sec/sample) [cite: 2048, 2432, 2433, 2509]。
• 視覺化趨勢追蹤： 介面以折線圖形式動態展示多種數據隨時間的變化趨勢（如 HF、HNO3、CH3COOH 的 %ww 含量），幫助使用者發現週期性規律 [cite: 2049, 2050, 2711, 2712, 2713]。
• 無縫系統整合： 支援 Modbus RTU 數據傳輸，可連接 PLC、DCS 系統 [cite: 2051, 2250]。主從架構下，主設備可實現毫秒級響應，即時顯示線上結果 [cite: 2051]。

ETC-1700 (LPA-TQ) 系統規格一覽表
• 波長範圍： 900 - 1700 nm [cite: 2431, 2436]
• 分光元件： 線性漸變分光器 (LVF) [cite: 2436, 2440]
• 檢測器： 128 像元 InGaAs 檢測器 [cite: 2436]
• 光源壽命： > 30,000 小時 [cite: 2436]
• 測量時間 (典型值)： 0.25 - 0.5 秒 [cite: 2436]
• 採樣積分時間： 10ms，最小 10us [cite: 2436]
• 信噪比： 25,000 : 1 [cite: 2436]
• 儀器運行環境： 10 ~ 40 °C [cite: 2436]
• 整機重量： 小於 500g [cite: 2436]
• 安裝規格： 直接卡接於 1/4" ~ 1" PFA 管路 [cite: 2429, 2464]

(如需評估廠區濕製程的液體濃度分析需求，歡迎聯絡增誠科技技術團隊進行專業規劃)

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